设备服务干式微蚀刻电浆设备

设备应用

  • 电浆干式微蚀刻制程(Dismear , Discum)
  • 表面改质、粗糙化
  • 蚀刻材料:PP,PMMA,ABF,Epoxy,…(各式聚合物)
  • 基材:Wafer, Si, Glass, PP, PMMA,Cu…(各式基材)

设备特色

  • 多片式设计
  • 高产能、低运转成本
  • 化学性的离子反应蚀刻方式
  • 无特殊气体需求
  • 模块化设计,可依需求客制化
  • 基板尺寸:21” x 24”