设备服务ODR Ag reflect layer

设备规格

  • 工作尺寸: 300mm x 300mm
  • 机台尺寸: L 4.8M x W 1.8M
  • 产能:UHS-20503C4 2” 78K/Mon
  • 计算基础:22hr/26Day

设备特色

  • 全系统可搭配2”, 4”, 6”治具生产
  • 连续式溅镀系统
  • 上掀式腔体门方便保养
  • 自动回流系统、可整合自动化
  • Sputter薄膜均匀稳定
  • Ag薄膜致密性高、反射率>91%
  • Ag Reflect薄膜迭构设计
  • 全机磁性流体传动导入