设备服务Flip Chip Ag

设备规格

  • 工作尺寸: 420mm x 650mm
  • 机台尺寸: L 3.5M x W 2.2M x H 2.3M
  • 产能:2” 300K/Mon
          4” 75K/Mon
  • 计算基础:24hr/26Day

设备特色

  • 全系统可搭配2”, 4”, 6”治具生产
  • 超低温高速成膜
  • Lowdamage Ag复合层
  • Grain小反射率高
  • Foot plant占地小
  • 磁性流体传动导入
  • 全机无油设计
  • 快速换靶机构